企业专家进课堂--工业中光学检测与《固体物理导论》课程

发布者:熊浩发布时间:2025-10-20浏览次数:10

作者:张鹏

2025年10月17日,复拓科学仪器(苏州)有限公司研发总监陈小林高级工程师走进数理与统计学院《固体物理导论》课堂,为2023级光电信息科学与工程专业的学生讲授工业光学检测与固体物理。

陈小林总监围绕“半导体制程光学检测仪器”作了系统介绍,指出在芯片线宽逼近物理极限的当下,纳米级缺陷足以报废整片晶圆。因此,非接触、无损伤、实时在线的光学检测技术已然成为保障芯片良率的关键防线。其工作原理深植于固体物理领域,芯片材料的能带结构、载流子寿命以及晶体缺陷等诸多因素,共同决定了光的吸收、散射与荧光效率。唯有借助固体物理的专业语言,将“材料 - 缺陷 - 信号”这一复杂链条精准翻译为可计算模型,方能从海量光子信号中精准提取出1纳米级的可信特征,为芯片质量把控提供坚实依据。

在互动交流环节,陈小林向在场的同学们发出诚挚号召,希望大家能够熟练掌握固体物理与光学工程这“双语言”,勇于投身工业一线,精准定义并解决实际问题。同学们表示,要学好专业,积极投身在国产半导体装备持续迭代升级的征程中,为我国半导体产业从追赶迈向超越的历史性跨越奉献自己的力量。